ASMLについて

半導体露光装置のリーダー 

半導体の世界で核心的なテクノロジーを担うハイテク企業。 それがASMLです。

 

半導体メーカーがリソグラフィ(露光)工程で、シリコン基板上にパターン形成をする際に必要なハードウエア、ソフトウエア、サービスの全てを提供しています。

0123456789
0123456789
0123456789
0123456789

会社創立

0123456789
0123456789

従業員数 

0123456789
0123456789
0123456789

従業員の国籍 

0123456789
0123456789

世界16ヶ国

ビジョン・ミッション 

私たちは、テクノロジーで世界に貢献できると信じています。 


ASMLのビジョンは、半導体のテクノロジーが世界の隅々に行き渡り、社会が抱える様々な課題を解決に導いていくことです。私たちは、顧客の半導体製品の継続的価値向上とコスト低減を実現する製品とサービスを生み出し、このビジョンを実現していきます。 

ASMLのテクノロジー

私たちのチームは、変化を生み出すために仕事をしています。 



そして、社会全体で利用されるテクノロジーを提供する会社で働いています。 


テクノロジーは、社会に役立つ力です。テクノロジーによって私たちはつながり、暮らし方、働き方、そして遊び方も変化していきます。皆さんが毎日利用する電子機器のほとんどに半導体チップが使われていますが、露光装置なくしてこれらの機器は生み出せません。 


ASMLは、世界の半導体メーカーが高性能化と低価格化を追求する上で必要なものを可能な限り提供する、世界最大級の露光装置メーカーです。ASMLの本社はオランダのフェルトホーフェンにあります。欧州随一のテクノロジー開発拠点として知られるアイントホーフェン・ブレインポート地区に位置し、欧州、アジア、米国において広く事業を展開しています。 

ASMLで働くこと 



ASMLで働くということは、グローバルコミュニティの一員になることを意味します。私たちは、創造性、多様性、そして活力ある職場環境を大切にしています。 


皆さんの優れたアイデアを持ち込み、実現していきませんか。ASMLには、自らの担当分野で新しいことを試み、複雑な課題を解決していく自由な企業文化があります。会社からの信頼とサポートがあるからこそ、新たな可能性を探求することができるのです。 


テクノロジーの最前線にいる以上、ビジネス環境は急速に変化しますが、ASMLでは、従業員の仕事と生活のバランス、そして生活の満足度をとても大事にしています。従業員の満たされた生活なくして、ビジネスの成功はないと信じています。 

ASMLの技術 

微細なパターンを形成する重要なプロセス 

リソグラフィは、光を使ってシリコン表面に微細なパターンを描画する技術で、半導体製品の量産における基幹プロセスです。 

リソグラフィ(露光)のしくみ 

露光装置は、基本的に投影システムであるといえます。描画されるパターンの設計図を刻んだもの(これを「マスク」もしくは「レチクル」と呼びます)を通して光が投影されます。この設計図は、実際に半導体デバイス上に描画されるパターンよりも4倍大きいサイズになっています。このパターン形状が光により符号化され、リソグラフィ装置の光学系によって縮小されて、シリコンウエハの感光性表面に投射されます。パターンが一つ描画されると、装置内でウエハが少し動き、ウエハ上の次の場所に同様にパターンが描画されていきます。 

EUV露光装置

ASMLは、世界で唯一、極紫外線(EUV)を使った露光装置を製造する企業です。EUVの力を利用した露光装置を実用化するため、ASMLは、過去20年以上にわたり粘り強く研究開発を続け、極めて困難な技術課題に取り組んできました。 

Read more


ASMLでは、現在、開口数(NA)を0.55にまで引き上げた「High-NA」次世代EUVプラットフォームの開発を進めています。このプラットフォームでは、光学系の設計が一新され、ステージの移動速度も一段と速くなっています。このプラットフォームにより、解像度と重ね合わせ精度が現行のEUVプラットフォームに比べて70%向上するため、今後10年間以上の更なるデバイスの微細化が期待されています。 

DUV露光装置 

ASMLのDUV(深紫外線)露光装置プラットフォームは、半導体産業を支える「一番の働き者」といえます。広範にわたるデバイス世代と多種多様なデバイス技術に関連する製造向けの液浸露光装置並びにドライ露光装置のソリューションを提供しています。 


ASMLの液浸露光装置及びドライ露光装置は、最先端のロジック及びメモリデバイスの量産において、業界最高の生産性、結像性能、そして重ね合わせ精度を実現しています。 

評価計測&検査 

ASMLの評価計測ソリューションは、シリコンウエハ上の結像性能を短時間で測定し、測定データをリアルタイムで露光装置にフィードバックすることができ、これにより半導体製品の量産ラインにおける露光装置性能の安定化に寄与しています。また、ASMLの検査ソリューションは、ウエハ上に描画された何十億ものパターンの中にある個々のデバイス欠陥の発見と分析に役立っています。 

ソフトウエア 

ASMLのハードウエアをバットマンに例えるとすれば、ソフトウエアはロビンということになります。ASMLはハードウエア企業に分類されてはいますが、実際には、ソフトウエアの領域でも世界で最先端を走る企業といえます。自社開発したソフトウエアなくして、微細化の一途を辿る半導体デバイスを当社の露光装置で製造することはできません。 

Read more


結果として、ASMLの露光装置は現在、ハイテクを駆使したハードウエアと最先端のソフトウエアのハイブリッドによって成り立っているといえます。ASMLの開発チームは、多岐にわたるプログラミングに取り組み、エレクトロニクス産業の中核である半導体製造装置に影響する複雑な問題に対し、革新的ソリューションを提供しています。

ASMLで働くこと